TK910擴散硅壓力變送器
★ 工作原理
TK910系列擴散硅壓力傳感器系全部采用芯片,經(jīng)過精心的結構設計,信號處理和組裝,并按照國家標準和企業(yè)標準,進行測試而生產(chǎn)出來的新一代測量元件?;驹硎抢冒雽w的壓阻效應和微機械加工技術,在單晶硅片的特定晶向上,用光刻、擴散等半導體工藝制做一惠斯登電橋,形成敏感膜片,當受到外力作用時產(chǎn)生微應變,電阻率發(fā)生變化,使橋臂電阻發(fā)生變化(一對變大一對變?。┰诩铍妷盒盘栞敵觯?jīng)過計算機溫度補償、激光調(diào)阻、信號放大等處理手段和嚴格的裝配檢測、標定等工藝,生產(chǎn)出具有標準輸出信號的壓力變送器。
★ 特點
※ 輸出穩(wěn)定靈敏度高
一般應變式傳感器輸出僅為10mv左右,而擴散硅傳感器滿量程輸出為100mv左右,干擾及噪聲等因素影響相對較小,放大電路成本也相應降低,分辨率大大提高。零壓力附近無死區(qū)。
※ 精度高,重復性好
擴散硅壓阻式壓力傳感器實現(xiàn)了壓力受感,壓力傳遞力一電轉換由同一元件上實現(xiàn),無中間轉換環(huán)節(jié),無壓力滯后,無機械位移變形,保證了極小的重復性和遲滯誤差,和良好的線性度,無蠕變、穩(wěn)定、可靠、壽命長。
※ 良好的溫度特性
由于采用了激光調(diào)阻,計算機補償?shù)认冗M技術和巧妙控制擴散濃度,實現(xiàn)滿量程溫度漂移(靈敏度溫度系數(shù))自補償??朔税雽w晶片本身溫度系數(shù)大的缺陷,使變送器的零位和滿度溫漂達到了較高的水準,拓寬了使用溫區(qū)。
※ 適合于危險易爆的領域和場所應用
擴散硅壓力傳感器,變送器具有低電流,低電壓,低功耗的特點,屬于本質(zhì)安全防爆型產(chǎn)品,并已取得了國家安全防爆機構頒發(fā)的防爆證書。
※ 高可靠性與抗干擾性能
產(chǎn)品由于采用了不銹鋼材質(zhì)與特殊防護結構,和放大電路的防雷擊、抗干擾、抗過壓、過流等一系列保護手段,提高了可靠的密封防腐和抗惡劣工作環(huán)境的能力,完全適合一般工業(yè)現(xiàn)場測量和控制的需要。